ЛАЗЕРНОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТВЕРДЫХ ПОКРЫТИЙ КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННЫХ ОКСИДОМ ГАФНИЯ Full article

Journal	Журнал структурной химии ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Output data	Year: 2025, Volume: 66, Number: 5, Article number : 144513, Pages count : DOI: 10.26902/jsc_id144513
Authors	Демин В.Н. 1,2 , Асанов И.П. 2 , Смирнов А.Л. 1 , Хомяков М.Н. 1 , Пинаев П.А. 1 , Багаев С.Н. 1
Affiliations	1 Институт лазерной физики СО РАН 2 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН