Laser Plasma-Chemical Deposition of Hafnia-Doped Solid Silicon Carbonitride Coatings

Laser Plasma-Chemical Deposition of Hafnia-Doped Solid Silicon Carbonitride Coatings Full article

Journal

Journal of Structural Chemistry
ISSN: 1573-8779 , E-ISSN: 0022-4766

Output data

Year: 2025, Volume: 66, Number: 5, Pages: 921-929 Pages count : 9 DOI: 10.1134/s0022476625050051

Authors

Demin V.N. ^1,2 , Asanov I.P. ² , Smirnov A.L. ¹ , Khomyakov M.N. ¹ , Pinaev P.A. ¹ , Bagaev S.N. ¹

Affiliations

1	Institute of Laser Physics
2	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Demin V.N. , Asanov I.P. , Smirnov A.L. , Khomyakov M.N. , Pinaev P.A. , Bagaev S.N.
Laser Plasma-Chemical Deposition of Hafnia-Doped Solid Silicon Carbonitride Coatings
Journal of Structural Chemistry. 2025. V.66. N5. P.921-929. DOI: 10.1134/s0022476625050051 РИНЦ

Демин В.Н. , Асанов И.П. , Смирнов А.Л. , Хомяков М.Н. , Пинаев П.А. , Багаев С.Н.
ЛАЗЕРНОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТВЕРДЫХ ПОКРЫТИЙ КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННЫХ ОКСИДОМ ГАФНИЯ
Журнал структурной химии. 2025. Т.66. №5. 144513 . DOI: 10.26902/jsc_id144513

Published print:

Jun 2, 2025

Elibrary:

82395786

Пока нет цитирований