ЛАЗЕРНОЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТВЕРДЫХ ПОКРЫТИЙ КАРБОНИТРИДА КРЕМНИЯ, ЛЕГИРОВАННЫХ ОКСИДОМ ГАФНИЯ Научная публикация

Журнал	Журнал структурной химии ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Вых. Данные	Год: 2025, Том: 66, Номер: 5, Номер статьи : 144513, Страниц : DOI: 10.26902/jsc_id144513
Авторы	Демин В.Н. 1,2 , Асанов И.П. 2 , Смирнов А.Л. 1 , Хомяков М.Н. 1 , Пинаев П.А. 1 , Багаев С.Н. 1
Организации	1 Институт лазерной физики СО РАН 2 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН