Аморфные пленки SiCx:H и SiCxNy:H, полученные из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда Full article

Journal	Химия высоких энергий ISSN: 0023-1193
Output data	Year: 2024, Volume: 58, Number: 6, Pages: 500-507 Pages count : 8 DOI: 10.31857/S0023119324060112
Authors	Чагин М.Н. 1 , Ермакова Е.Н. 1 , Шаяпов В.Р. 1 , Суляева В.С. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Юшина И.В. 1 , Косинова М.Л. 1
Affiliations	1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, пр. Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск, 630090 Россия