Термодинамическое исследование комплексов иридия(I) как основа технологии химического газофазного осаждения

Термодинамическое исследование комплексов иридия(I) как основа технологии химического газофазного осаждения Full article

Journal

Журнал общей химии
ISSN: 0044-460X

Output data

Year: 2021, Volume: 91, Number: 10, Pages: 1548–1557 Pages count : DOI: 10.31857/S0044460X21100103

Tags

давление насыщенного пара, энтальпия/энтропия сублимации и плавления, комплексы иридия(I), β-дикетонат, CVD-диаграмма

Authors

Жерикова К.В. ¹ , Макаренко А.М. ¹ , Караковская К.И. ¹ , Зеленина Л.Н. ¹ , Сысоев С.В. ¹ , Викулова Е.С. ¹ , Морозова Н.Б. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, пр. Академика Лаврентьева 3, Новосибирск, 630090 Россия

Получены данные о давлении насыщенного пара и плавлении дикарбонил(гексафторацетилацетонато)иридия [Ir(CO)2(hfac)]. Рассчитаны термодинамические характеристики его плавления и сублимации. Проведены единая обработка зависимостей p‒T, отнесение параметров сублимации к стандартной температуре и термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз в системе прекурсор‒газ‒реагент для трех соединений иридия(I): [Ir(CO)2(hfac)], [Ir(CO)2(acac)] и [Ir(cod)(hfac)] (acac ‒ ацетилацетонат-ион, cod ‒ циклоокта-1,5-диен). Результаты формируют основу для выбора прекурсора и определения оптимальных условий осаждения покрытий на основе иридия(I).

Жерикова К.В. , Макаренко А.М. , Караковская К.И. , Зеленина Л.Н. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. , Морозова Н.Б.
Термодинамическое исследование комплексов иридия(I) как основа технологии химического газофазного осаждения
Журнал общей химии. 2021. Т.91. №10. С.1548–1557. DOI: 10.31857/S0044460X21100103 OpenAlex

Zherikova K.V. , Makarenko A.M. , Karakovskaya K.I. , Zelenina L.N. , Sysoev S.V. , Vikulova E.S. , Morozova N.B.
Thermodynamic Study of Iridium(I) Complexes as a Basis for Chemical Gas-Phase Deposition Technology
Russian Journal of General Chemistry. 2021. V.91. P.1990–1998. DOI: 10.1134/S1070363221100108 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

OpenAlex:

W3204617582

DB	Citing
OpenAlex	1