Sciact
  • EN
  • RU

Термодинамическое исследование комплексов иридия(I) как основа технологии химического газофазного осаждения Научная публикация

Журнал Журнал общей химии
ISSN: 0044-460X
Вых. Данные Год: 2021, Том: 91, Номер: 10, Страницы: 1548–1557 Страниц : DOI: 10.31857/S0044460X21100103
Ключевые слова давление насыщенного пара, энтальпия/энтропия сублимации и плавления, комплексы иридия(I), β-дикетонат, CVD-диаграмма
Авторы Жерикова К.В. 1 , Макаренко А.М. 1 , Караковская К.И. 1 , Зеленина Л.Н. 1 , Сысоев С.В. 1 , Викулова Е.С. 1 , Морозова Н.Б. 1
Организации
1 Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, пр. Академика Лаврентьева 3, Новосибирск, 630090 Россия

Реферат: Получены данные о давлении насыщенного пара и плавлении дикарбонил(гексафторацетилацетонато)иридия [Ir(CO)2(hfac)]. Рассчитаны термодинамические характеристики его плавления и сублимации. Проведены единая обработка зависимостей p‒T, отнесение параметров сублимации к стандартной температуре и термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз в системе прекурсор‒газ‒реагент для трех соединений иридия(I): [Ir(CO)2(hfac)], [Ir(CO)2(acac)] и [Ir(cod)(hfac)] (acac ‒ ацетилацетонат-ион, cod ‒ циклоокта-1,5-диен). Результаты формируют основу для выбора прекурсора и определения оптимальных условий осаждения покрытий на основе иридия(I).
Библиографическая ссылка: Жерикова К.В. , Макаренко А.М. , Караковская К.И. , Зеленина Л.Н. , Сысоев С.В. , Викулова Е.С. , Морозова Н.Б.
Термодинамическое исследование комплексов иридия(I) как основа технологии химического газофазного осаждения
Журнал общей химии. 2021. Т.91. №10. С.1548–1557. DOI: 10.31857/S0044460X21100103 OpenAlex
Переводная: Zherikova K.V. , Makarenko A.M. , Karakovskaya K.I. , Zelenina L.N. , Sysoev S.V. , Vikulova E.S. , Morozova N.B.
Thermodynamic Study of Iridium(I) Complexes as a Basis for Chemical Gas-Phase Deposition Technology
Russian Journal of General Chemistry. 2021. V.91. P.1990–1998. DOI: 10.1134/S1070363221100108 Scopus OpenAlex
Идентификаторы БД:
OpenAlex: W3204617582
Цитирование в БД:
БД Цитирований
OpenAlex 1
Альметрики: