Sciact
  • EN
  • RU

ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК SiCxNyOz:H ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ ГАЗОВОЙ СМЕСИ 1,1,3,3,5,5-ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА, КИСЛОРОДА И АЗОТА Full article

Journal Журнал общей химии
ISSN: 0044-460X
Output data Year: 2019, Volume: 89, Number: 11, Pages: 1786-1791 Pages count : 6 DOI: 10.1134/S0044460X19110209
Tags пленки гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния, гексаметилциклотрисилазан, плазмохимическое осаждение, оптическое пропускание, твердость и модуль Юнга
Authors Плеханов А.Г. 1 , Файнер Н.И. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Шаяпов В.Р. 1 , Юшина И.В. 1 , Хомяков М.Н. 2
Affiliations
1 Институт неорганической химии имени А. В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук
2 Институт лазерной физики Сибирского отделения Российской Академии наук

Abstract: Получены высокопрозрачные в широкой спектральной области (350‒2500 нм) пленок оксикарбонитрида кремния. Осаждение пленок проводили при разложении 1,1,3,3,5,5-гексаметилциклотрисилазана в смесях с кислородом и азотом в плазме высокочастотного разряда в интервале температур 373–973 K. Влияние температуры синтеза и соотношения кислорода к азоту в исходных газовых смесях на химические и функциональные свойства пленок SiCxNyOz:H изучали с использованием ИК и КРС спектроскопии, энергодисперсионной спектроскопии, эллипсометрии, спекрофотометрии. Исследованы состав и некоторые характеристики полученных пленок.
Cite: Плеханов А.Г. , Файнер Н.И. , Максимовский Е.А. , Шаяпов В.Р. , Юшина И.В. , Хомяков М.Н.
ПОЛУЧЕНИЕ ВЫСОКОПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК SiCxNyOz:H ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ РАЗЛОЖЕНИЕМ ГАЗОВОЙ СМЕСИ 1,1,3,3,5,5-ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА, КИСЛОРОДА И АЗОТА
Журнал общей химии. 2019. Т.89. №11. С.1786-1791. DOI: 10.1134/S0044460X19110209 РИНЦ OpenAlex
Translated: Plekhanov A.G. , Fainer N.I. , Maksimovskiy E.A. , Shayapov V.R. , Yushina I.V. , Khomyakov M.N.
Synthesis of Highly Transparent SiCxNyOz:H Films via Plasma-Chemical Decomposition of 1,1,3,3,5,5-Hexamethylcyclotrisilazane, Oxygen, and Nitrogen Gas Mixture
Russian Journal of General Chemistry. 2019. V.89. N11. P.2290-2294. DOI: 10.1134/S1070363219110203 Scopus OpenAlex
Dates:
Submitted: May 14, 2019
Accepted: May 20, 2019
Identifiers:
Elibrary: 41208607
OpenAlex: W2983737263
Citing: Пока нет цитирований
Altmetrics: