THERMODYNAMIC MODELING OF THE CVD PROCESS IN THE NI–SI–C–H SYSTEM | Sciact

THERMODYNAMIC MODELING OF THE CVD PROCESS IN THE NI–SI–C–H SYSTEM Научная публикация

Журнал

Russian Journal of Inorganic Chemistry
ISSN: 0036-0236 , E-ISSN: 1531-8613

Вых. Данные

Год: 2024, DOI: 10.1134/s0036023623602441

Авторы

Шестаков Владимир Алексеевич ¹ , Косинова Марина Леонидовна ¹

Организации

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
THERMODYNAMIC MODELING OF THE CVD PROCESS IN THE NI–SI–C–H SYSTEM
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2024. DOI: 10.1134/s0036023623602441 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА CVD В СИСТЕМЕ Ni–Si–C–H
Журнал неорганической химии. 2024. Т.69. №1. С.43-48. DOI: 10.31857/S0044457X24010059 РИНЦ OpenAlex

Опубликована в печати:

11 мар. 2024 г.

Web of science:	WOS:001180331200008
Scopus:	2-s2.0-85187158906
РИНЦ:	66504379
OpenAlex:	W4392645039

Пока нет цитирований