Реферат: Благодаря уникальным свойствам бескислородная керамика является перспективной для применения в различных отраслях техники. Включение металлов или их соединений в эту керамику существенно расширяет возможности ее применения, поэтому активно разрабатываются способы синтеза таких композитов. Одним из способов получения таких пленок является осаждение из газовой фазы. Термо- динамическое моделирование позволяет подобрать условия для этого процесса. В работе проведено термодинамическое моделирование CVD-процесса в системе Ni–Si–C–H, где прекурсорами были никелоцен и силан. Результаты работы могут быть полезны для разработки способов получения пле- ночных материалов на основе SiC и никельсодержащих фаз.

Библиографическая ссылка: Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА CVD В СИСТЕМЕ Ni–Si–C–H
Журнал неорганической химии. 2024. Т.69. №1. С.43-48. DOI: 10.31857/S0044457X24010059 РИНЦ OpenAlex

Переводная: Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
THERMODYNAMIC MODELING OF THE CVD PROCESS IN THE NI–SI–C–H SYSTEM
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2024. DOI: 10.1134/s0036023623602441 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Даты:

Поступила в редакцию:	21 июн. 2023 г.
Принята к публикации:	21 авг. 2023 г.

Идентификаторы БД:

РИНЦ:	67875575
OpenAlex:	W4402550959

Цитирование в БД: Пока нет цитирований

Альметрики: