Chemical Composition of an Inductively Coupled Hexamethyldisilazane–Argon Plasma and Properties of Films Grown in this Plasma Научная публикация
| Журнал |
Inorganic Materials
ISSN: 0020-1685 , E-ISSN: 1608-3172 |
||
|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2016, Том: 52, Номер: 6, Страницы: 630-636 Страниц : 7 DOI: 10.1134/S0020168516050150 | ||
| Ключевые слова | plasma-enhanced chemical vapor deposition, thin films, optical emission spectroscopy | ||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Реферат:
The simplest components (atoms, diatomic molecules, and simple free radicals) of an inductively coupled rf plasma in a hexamethyldisilazane–argon mixture have been identified by optical emission spectroscopy. We have studied the influence of process conditions (plasma power and hexamethyldisilazane concentration in the mixture) on the intensity of lines and bands corresponding to these components and the corresponding changes in the composition and physicochemical properties of SiCxNyHz films grown in this plasma.
Библиографическая ссылка:
Shayapov V.R.
, Chagin M.N.
, Rumyantsev Y.M.
Chemical Composition of an Inductively Coupled Hexamethyldisilazane–Argon Plasma and Properties of Films Grown in this Plasma
Inorganic Materials. 2016. V.52. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S0020168516050150 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Chemical Composition of an Inductively Coupled Hexamethyldisilazane–Argon Plasma and Properties of Films Grown in this Plasma
Inorganic Materials. 2016. V.52. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S0020168516050150 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Оригинальная:
Шаяпов В.Р.
, Чагин М.Н.
, Румянцев Ю.М.
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
Неорганические материалы. 2016. Т.52. №6. С.684-690. DOI: 10.7868/S0002337X16050158 РИНЦ OpenAlex
Химический состав индуктивно-связанной плазмы смеси гексаметилдисилазана с аргоном и свойства пленок, образующихся в такой плазме
Неорганические материалы. 2016. Т.52. №6. С.684-690. DOI: 10.7868/S0002337X16050158 РИНЦ OpenAlex
Даты:
| Поступила в редакцию: | 14 сент. 2015 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:000376596500018 |
| Scopus: | 2-s2.0-84979586904 |
| РИНЦ: | 27096090 |
| OpenAlex: | W2406003768 |