Homogeneous nucleation during laser-plasma-chemical synthesis of SiCN solid coatings from hexamethyldisilazane

Homogeneous nucleation during laser-plasma-chemical synthesis of SiCN solid coatings from hexamethyldisilazane Full article

Journal

Technical Physics
ISSN: 1090-6525 , E-ISSN: 1063-7842

Output data

Year: 2023, Pages: 804-808 Pages count : 5

Authors

Demin Viktor Nikolaevich ¹ , Borisov Viktor Odisseevich ¹ , Бакланов АМ ² , Грачев ГН ³ , Смирнов АЛ ³ , Багаев СН ³

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
2	Voevodsky Institute of Chemical Kinetics and Combustion Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences
3	Institute of Laser Physics

Статью не нашли, это примерный вариант

Demin V.N. , Borisov V.O. , Бакланов А. , Грачев Г. , Смирнов А. , Багаев С.
Homogeneous nucleation during laser-plasma-chemical synthesis of SiCN solid coatings from hexamethyldisilazane
Technical Physics. 2023. P.804-808.

Демин В.Н. , Борисов В.О. , Бакланов А.М. , Грачев Г.Н. , Смирнов А.Л. , Багаев С.Н.
Гомогенное зародышеобразование при лазерно-плазмохимическом синтезе твердых покрытий SiCN из гексаметилдисилазана
Журнал технической физики. 2023. Т.93. №6. 804 :1-5. DOI: 10.21883/jtf.2023.06.55605.47-23 РИНЦ OpenAlex

No identifiers

Пока нет цитирований