Гомогенное зародышеобразование при лазерно-плазмохимическом синтезе твердых покрытий SiCN из гексаметилдисилазана Full article

Journal	Журнал технической физики ISSN: 0044-4642
Output data	Year: 2023, Volume: 93, Number: 6, Article number : 804, Pages count : 5 DOI: 10.21883/jtf.2023.06.55605.47-23
Authors	Демин В.Н. 1 , Борисов В.О. 1 , Бакланов А.М. 2 , Грачев Г.Н. 3 , Смирнов А.Л 3 , Багаев С.Н. 3
Affiliations	1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия 2 Институт химической кинетики и горения им. В.В. Воеводского Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия 3 Институт лазерной физики Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия