Conference theses - Sciact

Conference theses (2)

#	Публикация
1	Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л. Особенности формирования слоев SiOC:H и SiCN:H из кремнийоргани-ческих прекурсоров в процессах плазмохимического синтеза (PECVD) In compilation Термодинамика и материаловедение: Тезисы докладов XVI Симпозиума с международным участием, Санкт-Петербург, 30 июня – 4 июля 2025. – ФТИ им. А.Ф. Иоффе., 2025. – C.100. – ISBN 978-5-93634-077-2.
2	Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Суляева В.С. , Ермакова Е.Н. , Косинова М.Л. Состав и свойства пленок, осаждаемых из паров гексаметилдисилана в индуктивно-связанной плазме ВЧ-разряда In compilation Сборник тезисов XIII Всероссийской конференции с международным участием "Химия твердого тела и функциональные материалы - 2024". 2024. – C.419.

1 / 1 - Total 2 records

Filter

field.name

Year

DOI

Abstract

Tags

Genre

Source type

Journal

Language

Author

Open access

Order

Columns

Per page

Reset