Термодинамика фазовых переходов β-дикетонатов металлов как основа контроля их парообразования в процессах MOCVD - Conference attendances

Термодинамика фазовых переходов β-дикетонатов металлов как основа контроля их парообразования в процессах MOCVD Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
02-04 Feb 2026 , Новосибирск

Authors

Макаренко А.М. ¹ , Жерикова К.В. ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Макаренко А.М. , Жерикова К.В.
Термодинамика фазовых переходов β-дикетонатов металлов как основа контроля их парообразования в процессах MOCVD
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026