Термодинамика фазовых переходов β-дикетонатов металлов как основа контроля их парообразования в процессах MOCVD - Доклады на конференциях

Термодинамика фазовых переходов β-дикетонатов металлов как основа контроля их парообразования в процессах MOCVD Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
02-04 февр. 2026 , Новосибирск

Авторы

Макаренко А.М. ¹ , Жерикова К.В. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Макаренко А.М. , Жерикова К.В.
Термодинамика фазовых переходов β-дикетонатов металлов как основа контроля их парообразования в процессах MOCVD
Восьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 02-04 февр. 2026