ПЛЕНКИ BCNO:H, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДАМИ LPCVD И PECVD ИЗ СМЕСИ ПАРА ТРИМЕТИЛАМИНБОРАНА И АЗОТА Conference attendances
| Language | Русский | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Participant type | Устный | ||||||
| Conference |
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 Jul 2022 , Новосибирск, Лаврентьева, 3 |
||||||
| Authors |
|
||||||
| Affiliations |
|
Abstract:
Материалы состава BCxNy привлекательны возможностью сочетать уникальные свойства соединений с-BN, h-BN, B4C, C3N4 и C (графита, алмаза, фуллерена), напри-мер, регулировать ширину запрещенной зоны (от 0.5 до 6.2 эВ), варьировать механиче-ские свойства [1, 2]. Пленки были синтезированы из смеси пара триметиламинборана (ТМАБ) и азота (РТМАБ(273К) = РN2). Использование ТМАБ целесообразно, так как он со-держит B, N и C, является стабильным и относительно недорогим [3]. Пленки охарак-теризованы методами: СЭМ, ЭДС, эллипсометрии, ИК-, КР-, РФЭС спектроскопии, спектрофотометрии, наноиндентирования, склерометрии; измерены краевые углы сма-чивания в режиме лежащей капли и по ним рассчитана Епов,. В LPCVD процессе (Тсинт 673-973 К) получены пленки преимущественно состава BCx, а в PECVD процессе (Тсинт 373-873 К) - t-BN (373-473 К), h-BN (523-873 К), содержащие также BCxNy:H с различ-ными для двух процессов типами связей. В таблице представлены полученные физико-химические величины. В случае PECVD в данной работе были получены характери-стики только для гладких пленок (Тсинт 373-550 К), при Тсинт > 550 К формируются стен-ки.
Тип
процесса CVD Тсинт,
К v,
нм/
мин Фазовый
состав n T,
%
Eg,
эВ Епов,
Дж/м H,
ГПа E,
ГПа R, %
LPCVD 673
773
823
848
873
898
923
973 1.7
3.3
4.1
4.5
5.0
5.4
5.8
6.6 BCx, BCxNy: H (B-C, C-N, B-N, B-H)
С ростом Тсинт вклад B-N и С-N увелич., B-H уменьш. 2.43
2.54
2.56
2.56
2.55
2.54
2.53
2.48 - - 47
45
45
45
45
45
46
49
27
28
28
27
25
243
235
243
236
220
71
70
70
71
74
PECVD 373
423
473 18.1
12.6
6.8
5.0
5.1
5.3
5.5
5.7 t-BN, B4C,
BCxNy:H (N-H, C-H) 1.52
1.54
1.57
1.62
92-95 5.22
5.53
5.67
5.80
68
62
51
49 0,76
0,94
1,21
1,40 26
25
26
26
19
21
26
28
523
573
673
773
873 h-BN,
BCxNy:H,
С ростом Тсинт N-H и С-Н уменьш.
Работа выполнена при поддержке РФФИ-НСО р_а_Новосибирск № 20-43-540016.
1. Nappini S., Bondino F., Piš I, et. al // Appl. Surf. Science. Vol. 479. 2019. P. 903.
2. S.D. Nehate, A.K. Saikumar, A. Prakash, K.B. Sundaram // Mater. Today Adv. 2020. Vol. 8. P. 100106.
3. Tay R. Y. Chemical Vapor Deposition Growth and Characterization of Two-Dimensional Hexagonal Boron Nitride. Springer Theses. 2018.
Cite:
Белая С.В.
, Максимовский Е.А.
, Шаяпов В.Р.
, Шаповалова А.А.
, Колодин А.Н.
, Каичев В.В.
, Асанов И.П.
, Хомяков М.Н.
, Юшина И.В.
, Суляева В.С.
, Косинова М.Л.
ПЛЕНКИ BCNO:H, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДАМИ LPCVD И PECVD ИЗ СМЕСИ ПАРА ТРИМЕТИЛАМИНБОРАНА И АЗОТА
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022
ПЛЕНКИ BCNO:H, ПОЛУЧЕННЫЕ МЕТОДАМИ LPCVD И PECVD ИЗ СМЕСИ ПАРА ТРИМЕТИЛАМИНБОРАНА И АЗОТА
Кузнецовские чтения-2022. Шестой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 11-13 июл. 2022