Методика проверки термодинамических данных предшественников MOCVD на достоверность на примере трис-β-дикетонатов металлов Conference attendances
| Language | Русский | ||
|---|---|---|---|
| Participant type | Устный | ||
| Conference |
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 Jun - 4 Jul 2025 , Санкт-Петербург |
||
| Authors |
|
||
| Affiliations |
|
Cite:
Макаренко А.М.
, Жерикова К.В.
Методика проверки термодинамических данных предшественников MOCVD на достоверность на примере трис-β-дикетонатов металлов
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025
Методика проверки термодинамических данных предшественников MOCVD на достоверность на примере трис-β-дикетонатов металлов
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025