Методика проверки термодинамических данных предшественников MOCVD на достоверность на примере трис-β-дикетонатов металлов Доклады на конференциях
| Язык | Русский | ||
|---|---|---|---|
| Тип доклада | Устный | ||
| Конференция |
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025 , Санкт-Петербург |
||
| Авторы |
|
||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Макаренко А.М.
, Жерикова К.В.
Методика проверки термодинамических данных предшественников MOCVD на достоверность на примере трис-β-дикетонатов металлов
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025
Методика проверки термодинамических данных предшественников MOCVD на достоверность на примере трис-β-дикетонатов металлов
XVI Симпозиум с международным участием «Термодинамика и материаловедение – 2025» 30 июн. - 4 июл. 2025