Metal β-diketonates as precursors in MOCVD processes: the thermodynamics of their evaporation - Доклады на конференциях

Metal β-diketonates as precursors in MOCVD processes: the thermodynamics of their evaporation Доклады на конференциях

Язык

Английский

Тип доклада

Устный

Конференция

ХXIV МЕЖДУНАРОДНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ХИМИЧЕСКОЙ ТЕРМОДИНАМИКЕ
01-05 июл. 2024 , Иваново

Авторы

Makarenko A.M. ¹ , Zherikova K.V. ¹ , Morozova N.B. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Makarenko A.M. , Zherikova K.V. , Morozova N.B.
Metal β-diketonates as precursors in MOCVD processes: the thermodynamics of their evaporation
ХXIV МЕЖДУНАРОДНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПО ХИМИЧЕСКОЙ ТЕРМОДИНАМИКЕ 01-05 Jul 2024