MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева - Conference attendances

MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск

Authors

Rikhter E ¹ , Shutilov Roman Aleksandrovich ¹ , Igumenov Igorʹ Konstantinovich ¹ , Vikulova Evgeniya Sergeevna ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences

Рихтер Э.А. , Шутилов Р.А. , Игуменов И.К. , Викулова Е.С.
MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024