Sciact
  • EN
  • RU

MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева Conference attendances

Language Русский
Participant type Устный
Conference Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск
Authors Rikhter E 1 , Shutilov Roman Aleksandrovich 1 , Igumenov Igorʹ Konstantinovich 1 , Vikulova Evgeniya Sergeevna 1
Affiliations
1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
Cite: Рихтер Э.А. , Шутилов Р.А. , Игуменов И.К. , Викулова Е.С.
MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024