MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева - Доклады на конференциях

MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024 , Новосибирск

Авторы

Рихтер Эрик Алексеюсович ¹ , Шутилов Роман Александрович ¹ , Игуменов Игорь Константинович ¹ , Викулова Евгения Сергеевна ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Рихтер Э.А. , Шутилов Р.А. , Игуменов И.К. , Викулова Е.С.
MO CVD получение покрытий с использованием высокоскоростного светового нагрева
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024