Новое в диагностике пространственной неоднородности состава и структуры пленок Conference attendances
Language | Русский | ||
---|---|---|---|
Participant type | Устный | ||
Conference |
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 Feb 2024 , Новосибирск |
||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Cite:
Васильева И.Г.
Новое в диагностике пространственной неоднородности состава и структуры пленок
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
Новое в диагностике пространственной неоднородности состава и структуры пленок
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024