Новое в диагностике пространственной неоднородности состава и структуры пленок - Доклады на конференциях

Новое в диагностике пространственной неоднородности состава и структуры пленок Доклады на конференциях

Язык

Русский

Тип доклада

Устный

Конференция

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024 , Новосибирск

Авторы

Васильева Инга Григорьевна ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Васильева И.Г.
Новое в диагностике пространственной неоднородности состава и структуры пленок
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024