Sciact
  • EN
  • RU

β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования Conference attendances

Language Русский
Participant type Устный
Conference Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск
Authors Makarenko Aleksandr Mikhailovich 1 , Zherikova Kseniya Vasilʹevna 1 , Sysoev Sergei Viktorovich 1 , Sartakova Anastasiya Vyacheslavovna 1
Affiliations
1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
Cite: Макаренко А.М. , Жерикова К.В. , Сысоев С.В. , Сартакова А.В.
β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024