β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования Conference attendances
Language | Русский | ||
---|---|---|---|
Participant type | Устный | ||
Conference |
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 Feb 2024 , Новосибирск |
||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Cite:
Макаренко А.М.
, Жерикова К.В.
, Сысоев С.В.
, Сартакова А.В.
β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024