β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования Доклады на конференциях
Язык | Русский | ||
---|---|---|---|
Тип доклада | Устный | ||
Конференция |
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024 , Новосибирск |
||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Макаренко А.М.
, Жерикова К.В.
, Сысоев С.В.
, Сартакова А.В.
β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024
β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024