Sciact
  • EN
  • RU

β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования Доклады на конференциях

Язык Русский
Тип доклада Устный
Конференция Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 февр. 2024 , Новосибирск
Авторы Макаренко Александр Михайлович 1 , Жерикова Ксения Васильевна 1 , Сысоев Сергей Викторович 1 , Сартакова Анастасия Вячеславовна 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН
Библиографическая ссылка: Макаренко А.М. , Жерикова К.В. , Сысоев С.В. , Сартакова А.В.
β-дикетонаты металлов(III) как предшественники в процессах MOCVD: термодинамика их парообразования
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024