Особенности формирования покрытий методом импульсного MOCVD в системе ZrO2/HfO2 - Conference attendances

Особенности формирования покрытий методом импульсного MOCVD в системе ZrO2/HfO2 Conference attendances

Language

Русский

Participant type

Устный

Conference

Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
05-07 Feb 2024 , Новосибирск

Authors

Shutilov Roman Aleksandrovich ¹ , Tereshchenko Oleg Evgenʹevich ² , Igumenov Igorʹ Konstantinovich ¹

Affiliations

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences
2	Institute of Semiconductor Physics SB RAS

Шутилов Р.А. , Терещенко О.Е. , Игуменов И.К.
Особенности формирования покрытий методом импульсного MOCVD в системе ZrO2/HfO2
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024