Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Sections:

  • Articles
  • Books
  • Conference attendances
  • Conference theses
  • Patents

Conference attendances (2)

# Публикация
1 Шаяпов В.Р. , Ермакова Е.Н. , Плеханов А.Г. , Чагин М.Н. , Дудкина С.П. , Косинова М.Л.
Применение оптической эмиссионной спектроскопии в исследовании процессов плазмохимического осаждения пленок из паров кремнийорганических соединений
Всероссийская научная конференция с международным участием «V Байкальский материаловедческий форум» 04-10 июл. 2025
2 Плеханов А.Г. , Максимовский Е.А. , Корольков И.В. , Лавров А.Н.
Изучение процесса PECVD синтеза пленок SiCxNyFe из смеси ферроцена, гексаметилдисилазана и азота
Кузнецовские чтения – 2024. Седьмой семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 05-07 февр. 2024

1   /  1   -  Total 2 records

Filter

Order

Field Direction

Columns

Reset