Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Sections:

  • Articles
  • Books
  • Conference attendances
  • Conference theses
  • Patents

Articles (84)

# Публикация
81 Ermakova E. , Lis A. , Kosinova M. , Rumyantsev Y. , Maximovskii E. , Rakhlin V.
Bis(trimethylsilyl)Ethylamine: Synthesis, Properties and its use as CVD Precursor
Physics Procedia. 2013. V.46. P.209-218. DOI: 10.1016/j.phpro.2013.07.069 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
82 Shayapov V.R. , Kosinova M.L. , Smirnov A.P. , Maksimovskii E.A. , Ayupov B.M. , Rumyantsev Y.M.
Mechanical properties and density of BCxNy films grown by low-pressure chemical vapor deposition from triethylamine borane
Inorganic Materials. 2011. V.47. P.262-266. DOI: 10.1134/S0020168511030204 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
83 Шаяпов В.Р. , Косинова М.Л. , Смирнов А.П. , Максимовский Е.А. , Аюпов Б.М. , Румянцев Ю.М.
Механические свойства и плотность пленок BCxNy, синтезированных из триэтиламинборана методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении
Неорганические материалы. 2011. Т.43. №3. С.312-316. РИНЦ
84 Sulyaeva V.S. , Kosinova M.L. , Rumyantsev Y.M. , Golubenko A.N. , Fainer N.I. , Alferova N.I. , Ayupov B.M. , Gevko P.N. , Kesler V.G. , Kolesov B.A. , Maksimovskii E.A. , Myakishev K.G. , Yushina I.V. , Kuznetsov F.A.
Properties of BCxNy films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition from N-trimethylborazine-nitrogen mixtures
Inorganic Materials. 2010. V.46. N5. P.487-494. DOI: 10.1134/s0020168510050092 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

  • « Previous
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • Next »
5   /  5   -  Total 84 records

Filter

Order

Field Direction

Columns

Reset