Articles - Sciact

#	Публикация
41	Шаяпов В.Р. , Чагин М.Н. , Колодин А.Н. , Косинова М.Л. ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ СМЕСИ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛЦИКЛОТРИСИЛАЗАНА И АРГОНА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ Физика и химия стекла. 2019. Т.45. №6. С.519-527. DOI: 10.1134/S0132665119060180 РИНЦ OpenAlex
42	Shayapov V.R. , Chagin M.N. , Kolodin A.N. , Kosinova M.L. Deposition of Films from a Mixture of Hexamethylcyclotrisilazane Vapor and Argon in Inductively Coupled Plasma Glass Physics and Chemistry. 2019. V.45. N6. P.525-531. DOI: 10.1134/S108765961906018X WOS Scopus OpenAlex

3 / 3 - Total 42 records

field.name

Year

DOI

Abstract

Per page

Reset