Sciact
  • EN
  • RU

СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК АНАТАЗА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ И ПОСЛЕДУЮЩИМ ОТЖИГОМ Full article

Journal Известия вузов. Физика
ISSN: 0021-3411
Output data Year: 2026, Volume: 69, Number: 2, Pages: 14-23 Pages count : 10 DOI: 10.17223/00213411/69/2/2
Authors Zaitsev Oleg V. 1,2 , Gareev Timur I. 2 , Nerushev Oleg A. 2 , Korolkov Ilya V. 3 , Smovzh Dmitry V. 2 , Kovalenko Pavel V. 1
Affiliations
1 Novosibirsk State University; Kutateladze Institute of Thermophysics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences
2 Kutateladze Institute of Thermophysics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences
3 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences

Funding (1)

1
Cite: Zaitsev O.V. , Gareev T.I. , Nerushev O.A. , Korolkov I.V. , Smovzh D.V. , Kovalenko P.V.
СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК АНАТАЗА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ И ПОСЛЕДУЮЩИМ ОТЖИГОМ
Известия вузов. Физика. 2026. Т.69. №2. С.14-23. DOI: 10.17223/00213411/69/2/2 РИНЦ OpenAlex
Dates:
Submitted: Sep 2, 2025
Published print: Feb 27, 2026
Identifiers:
≡ Elibrary: 89112816
≡ OpenAlex: W7159865291
Altmetrics: