СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК АНАТАЗА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ И ПОСЛЕДУЮЩИМ ОТЖИГОМ

СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК АНАТАЗА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ И ПОСЛЕДУЮЩИМ ОТЖИГОМ Научная публикация

Журнал

Известия вузов. Физика
ISSN: 0021-3411

Вых. Данные

Год: 2026, Том: 69, Номер: 2, Страницы: 14-23 Страниц : 10 DOI: 10.17223/00213411/69/2/2

Авторы

Zaitsev Oleg V. ^1,2 , Gareev Timur I. ² , Nerushev Oleg A. ² , Korolkov Ilya V. ³ , Smovzh Dmitry V. ² , Kovalenko Pavel V. ¹

Организации

1	Novosibirsk State University; Kutateladze Institute of Thermophysics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences
2	Kutateladze Institute of Thermophysics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences
3	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences

Информация о финансировании (1)

Zaitsev O.V. , Gareev T.I. , Nerushev O.A. , Korolkov I.V. , Smovzh D.V. , Kovalenko P.V.
СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК АНАТАЗА МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ С ДОПОЛНИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕКТРОДОМ И ПОСЛЕДУЮЩИМ ОТЖИГОМ
Известия вузов. Физика. 2026. Т.69. №2. С.14-23. DOI: 10.17223/00213411/69/2/2 РИНЦ OpenAlex

Поступила в редакцию:	2 сент. 2025 г.
Опубликована в печати:	27 февр. 2026 г.

≡ РИНЦ:	89112816
≡ OpenAlex:	W7159865291