Sciact
  • EN
  • RU

Speciation of BCxNy films grown by PECVD with trimethylborazine precursor Научная публикация

Журнал Analytical and Bioanalytical Chemistry
ISSN: 1618-2642 , E-ISSN: 1618-2650
Вых. Данные Год: 2009, Том: 395, Номер: 6, Страницы: 1901-1909 Страниц : 9 DOI: 10.1007/s00216-009-3056-6
Авторы Baake Olaf 1 , Hoffmann Peter S. 1 , Klein Andreas 1 , Pollakowski Beatrix 2 , Beckhoff Burkhard 2 , Kosinova Marina L. 3 , Fainer Nadeshda I. 3 , Sulyaeva Veronica S. 3 , Trunova Valentina A. 3 , Ensinger Wolfgang 1
Организации
1 Department of Materials Science, Technische Universität Darmstadt, Petersenstr. 23, 64287 Darmstadt, Germany
2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany
3 Russian Academy of Sciences, Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry Siberian Branch, Acad. Lavrentyev Pr. 3, Novosibirsk 630090, Russia
Библиографическая ссылка: Baake O. , Hoffmann P.S. , Klein A. , Pollakowski B. , Beckhoff B. , Kosinova M.L. , Fainer N.I. , Sulyaeva V.S. , Trunova V.A. , Ensinger W.
Speciation of BCxNy films grown by PECVD with trimethylborazine precursor
Analytical and Bioanalytical Chemistry. 2009. V.395. N6. P.1901-1909. DOI: 10.1007/s00216-009-3056-6 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 1 апр. 2009 г.
Принята к публикации: 11 авг. 2009 г.
Идентификаторы БД:
Web of science: WOS:000271395600034
Scopus: 2-s2.0-70449596023
РИНЦ: 15299252
OpenAlex: W1977543748
Цитирование в БД:
БД Цитирований
OpenAlex 14
Web of science 13
Scopus 13
Альметрики: