Sciact
  • EN
  • RU

Chemical bonds and elemental compositions of BCxNy layers produced by chemical vapor deposition with trimethylamine borane, triethylamine borane, or trimethylborazine Научная публикация

Журнал X-Ray Spectrometry
ISSN: 1097-4539 , E-ISSN: 0049-8246
Вых. Данные Год: 2012, Том: 41, Номер: 4, Страницы: 240-246 Страниц : 7 DOI: 10.1002/xrs.2387
Авторы Hoffmann Peter S. 1 , Baake Olaf 1 , Kosinova Marina L. 2 , Beckhoff Burkhard 3 , Klein Andreas 1 , Pollakowski Beatrix 3 , Trunova Valentina A. 2 , Sulyaeva Veronika S. 2 , Kuznetsov Fedor A. 2 , Ensinger Wolfgang 1
Организации
1 Department of Materials Science, Technische Universität Darmstadt, Petersenstr. 23, 64287 Darmstadt, Germany
2 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentyev Pr. 3, Novosibirsk 630090, Russia
3 Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin, Germany
Библиографическая ссылка: Hoffmann P.S. , Baake O. , Kosinova M.L. , Beckhoff B. , Klein A. , Pollakowski B. , Trunova V.A. , Sulyaeva V.S. , Kuznetsov F.A. , Ensinger W.
Chemical bonds and elemental compositions of BCxNy layers produced by chemical vapor deposition with trimethylamine borane, triethylamine borane, or trimethylborazine
X-Ray Spectrometry. 2012. V.41. N4. P.240-246. DOI: 10.1002/xrs.2387 WOS Scopus OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 10 февр. 2011 г.
Принята к публикации: 3 февр. 2012 г.
Опубликована online: 7 мар. 2012 г.
Идентификаторы БД:
Web of science: WOS:000305514800010
Scopus: 2-s2.0-84862770347
OpenAlex: W1947967361
Цитирование в БД:
БД Цитирований
OpenAlex 12
Scopus 11
Web of science 11
Альметрики: