Влияние разбавления газа-предшественника инертным газом на строение, состав и смачиваемость покрытий при осаждении методом HW CVD

Влияние разбавления газа-предшественника инертным газом на строение, состав и смачиваемость покрытий при осаждении методом HW CVD Full article

Journal

Теплофизика и Аэромеханика
ISSN: 0869-8635

Output data

Year: 2025, Volume: 32, Number: 4, Pages: 709-714 Pages count : 6 DOI: 10.63430/TIA202504006

Authors

Петрова А.В. ¹ , Ляпустин И.Н. ¹ , Суляева В.С. ² , Сафонов А.И. ¹

Affiliations

1	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск
2	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск

Петрова А.В. , Ляпустин И.Н. , Суляева В.С. , Сафонов А.И.
Влияние разбавления газа-предшественника инертным газом на строение, состав и смачиваемость покрытий при осаждении методом HW CVD
Теплофизика и Аэромеханика. 2025. Т.32. №4. С.709-714. DOI: 10.63430/TIA202504006

Submitted:	Apr 10, 2025
Accepted:	Jul 11, 2025
Published print:	Oct 1, 2025

No identifiers

Пока нет цитирований