Влияние разбавления газа-предшественника инертным газом на строение, состав и смачиваемость покрытий при осаждении методом HW CVD

Влияние разбавления газа-предшественника инертным газом на строение, состав и смачиваемость покрытий при осаждении методом HW CVD Научная публикация

Журнал

Теплофизика и Аэромеханика
ISSN: 0869-8635

Вых. Данные

Год: 2025, Том: 32, Номер: 4, Страницы: 709-714 Страниц : 6 DOI: 10.63430/TIA202504006

Авторы

Петрова А.В. ¹ , Ляпустин И.Н. ¹ , Суляева В.С. ² , Сафонов А.И. ¹

Организации

1	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск
2	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск

Петрова А.В. , Ляпустин И.Н. , Суляева В.С. , Сафонов А.И.
Влияние разбавления газа-предшественника инертным газом на строение, состав и смачиваемость покрытий при осаждении методом HW CVD
Теплофизика и Аэромеханика. 2025. Т.32. №4. С.709-714. DOI: 10.63430/TIA202504006

Поступила в редакцию:	10 апр. 2025 г.
Принята к публикации:	11 июл. 2025 г.
Опубликована в печати:	1 окт. 2025 г.

Нет идентификаторов

Пока нет цитирований