Sciact
  • EN
  • RU

Extraordinary synergetic effect of precursors in laser CVD deposition of SiBCN films Научная публикация

Журнал Journal of The European Ceramic Society
ISSN: 0955-2219 , E-ISSN: 1873-619X
Вых. Данные Год: 2019, Том: 39, Номер: 16, Страницы: 5123-5131 Страниц : 9 DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2019.08.006
Авторы Merenkov I.S. 1,2 , Katsui H. 3 , Khomyakov M.N. 4 , Sulyaeva V.S. 1 , Pushkarev R.V. 1 , Tu R. 5 , Goto T. 3,5,6 , Kosinova M.L. 1
Организации
1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry SB RAS, Novosibirsk, 630090, Russia
2 Ural Federal University, Ekaterinburg, 620002, Russia
3 Institute for Materials Research, Tohoku University, Sendai, 980-8577, Japan
4 Institute of Laser Physics SB RAS, Novosibirsk, 630090, Russia
5 Wuhan University of Technology, Wuhan, 430070, China
6 New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, Sendai, 980-0845, Japan
Библиографическая ссылка: Merenkov I.S. , Katsui H. , Khomyakov M.N. , Sulyaeva V.S. , Pushkarev R.V. , Tu R. , Goto T. , Kosinova M.L.
Extraordinary synergetic effect of precursors in laser CVD deposition of SiBCN films
Journal of The European Ceramic Society. 2019. V.39. N16. P.5123-5131. DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2019.08.006 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 18 мая 2019 г.
Принята к публикации: 5 авг. 2019 г.
Опубликована online: 6 авг. 2019 г.
Идентификаторы БД:
Web of science: WOS:000488140300003
Scopus: 2-s2.0-85070411132
РИНЦ: 41676992
OpenAlex: W2965826810
Цитирование в БД:
БД Цитирований
OpenAlex 21
Web of science 15
Scopus 19
РИНЦ 20
Альметрики: