Fluoropolymer coatings deposited on rotating cylindrical surfaces by HW CVD: experiment and simulation Научная публикация
| Журнал |
Journal of Physics D: Applied Physics
ISSN: 1361-6463 |
||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Вых. Данные | Год: 2021, Том: 54, Номер: 22, Номер статьи : 225204, Страниц : 12 DOI: 10.1088/1361-6463/abe8fd | ||||||||||
| Авторы |
|
||||||||||
| Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Bykov N.Y.
, Ronshin F.V.
, Safonov A.I.
, Starinskiy S.V.
, Sulyaeva V.S.
Fluoropolymer coatings deposited on rotating cylindrical surfaces by HW CVD: experiment and simulation
Journal of Physics D: Applied Physics. 2021. V.54. N22. 225204 :1-12. DOI: 10.1088/1361-6463/abe8fd WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Fluoropolymer coatings deposited on rotating cylindrical surfaces by HW CVD: experiment and simulation
Journal of Physics D: Applied Physics. 2021. V.54. N22. 225204 :1-12. DOI: 10.1088/1361-6463/abe8fd WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Даты:
| Поступила в редакцию: | 30 дек. 2020 г. |
| Принята к публикации: | 23 февр. 2021 г. |
| Опубликована в печати: | 15 мар. 2021 г. |
Идентификаторы БД:
| Web of science: | WOS:000629138400001 |
| Scopus: | 2-s2.0-85103151653 |
| РИНЦ: | 46784953 |
| OpenAlex: | W3129791562 |