Sciact
  • EN
  • RU

Диэлектрические слои BCxNy: синтез разложением паров борорганических соединений, состав и химическое строение Full article

Journal Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463
Output data Year: 2021, Volume: 62, Number: 10, Pages: 1736-1753 Pages count : 18 DOI: 10.26902/jsc_id87084
Authors Суляева В.С. 1 , Кеслер В.Г. 2 , Косинова М.Л. 1
Affiliations
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
Cite: Суляева В.С. , Кеслер В.Г. , Косинова М.Л.
Диэлектрические слои BCxNy: синтез разложением паров борорганических соединений, состав и химическое строение
Журнал структурной химии. 2021. Т.62. №10. С.1736-1753. DOI: 10.26902/jsc_id87084 РИНЦ OpenAlex
Translated: Sulyaeva V.S. , Kesler V.G. , Kosinova M.L.
Dielectric layers BCxNy: synthesis by the decomposition of vapors of organoboron compounds, composition and chemical structure
Journal of Structural Chemistry. 2021. V.62. P.1631–1647. DOI: 10.1134/S0022476621100188 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Dates:
Submitted: Jul 28, 2021
Accepted: Aug 18, 2021
Published print: Oct 1, 2021
Identifiers:
Elibrary: 46713197
OpenAlex: W3208193421
Citing:
DB Citing
OpenAlex 1
Elibrary 1
Altmetrics: