Взаимосвязь строения и термических свойств в летучих гетерометаллических комплексах, используемых при химическом осаждении из газовой фазы пленок Cu—Pt и Cu—Pd

Взаимосвязь строения и термических свойств в летучих гетерометаллических комплексах, используемых при химическом осаждении из газовой фазы пленок Cu—Pt и Cu—Pd Научная публикация

Журнал

Журнал структурной химии
ISSN: 2542-0976 , E-ISSN: 0136-7463

Вых. Данные

Год: 2022, Том: 63, Номер: 7, Номер статьи : 95767, Страниц : 9 DOI: 10.26902/jsc_id95767

Ключевые слова

летучие гетерометаллические комплексы; кристаллическая структура, электронная структура; термические свойства; химическое осаждение из газовой фазы; смешаннометальные Cu-Pt и Cu-Pd прекурсоры

Авторы

Крисюк В.В. ¹ , Крючкова Н.А. ¹ , Комаров В.Ю. ¹ , Пищур Д.П. ¹

Организации

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия

Представлены структура и термические свойства нового гетерометаллического комплекса на основе β-дикетонатов меди и благородного металла: Cu(hfa)2*PtLF2 (hfa= 1,1,1,5,5,5-гексафторпентан-2,4-дионато, LF= 1,1,1-трифтор-5-метокси-5-метил-гексан-2,4-дионато). По данным РСА, синтезированный комплекс представляет собой 1D координационный полимер, который сублимируется без остатка при Т=90 ºС и Р=10-2 Торр, Тпл 149 ºС. Методами термогравиметрического анализа и дифференциальной сканирующей калориметрии получены данные о термической устойчивости комплекса. Обсуждается корреляция термической устойчивости комплекса со структурными данными и результатами квантово-химических расчетов. Проведено сравнение кристаллической структуры, термических свойств и особенностей электронного строения Cu-Pt комплекса и изолигандного Cu-Pd комплекса Cu(hfa)2*PdLF2 с целью дальнейшего использования их как прекурсоров для соосаждения покрытий из тройных сплавов.

Крисюк В.В. , Крючкова Н.А. , Комаров В.Ю. , Пищур Д.П.
Взаимосвязь строения и термических свойств в летучих гетерометаллических комплексах, используемых при химическом осаждении из газовой фазы пленок Cu—Pt и Cu—Pd
Журнал структурной химии. 2022. Т.63. №7. 95767 :1-9. DOI: 10.26902/jsc_id95767

Krisyuk V.V. , Kryuchkova N.A. , Komarov V.Y. , Pishchur D.P.
STRUCTURE - THERMAL PROPERTIES RELATIONSHIP IN VOLATILE HETEROMETALLIC COMPLEXES USED IN CVD OF Cu–Pt AND Cu–Pd FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2022. V.63. N7. P.1070-1078. DOI: 10.1134/s0022476622070058 WOS Scopus OpenAlex

Поступила в редакцию:	3 мар. 2022 г.
Принята к публикации:	16 мар. 2022 г.

Нет идентификаторов

Пока нет цитирований