STRUCTURE - THERMAL PROPERTIES RELATIONSHIP IN VOLATILE HETEROMETALLIC COMPLEXES USED IN CVD OF Cu–Pt AND Cu–Pd FILMS

STRUCTURE - THERMAL PROPERTIES RELATIONSHIP IN VOLATILE HETEROMETALLIC COMPLEXES USED IN CVD OF Cu–Pt AND Cu–Pd FILMS Научная публикация

Журнал

Journal of Structural Chemistry
ISSN: 1573-8779 , E-ISSN: 0022-4766

Вых. Данные

Год: 2022, Том: 63, Номер: 7, Страницы: 1070-1078 Страниц : 9 DOI: 10.1134/s0022476622070058

Авторы

Krisyuk V.V. ¹ , Kryuchkova N.A. ¹ , Komarov V.Yu. ¹ , Pishchur D.P. ¹

Организации

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Krisyuk V.V. , Kryuchkova N.A. , Komarov V.Y. , Pishchur D.P.
STRUCTURE - THERMAL PROPERTIES RELATIONSHIP IN VOLATILE HETEROMETALLIC COMPLEXES USED IN CVD OF Cu–Pt AND Cu–Pd FILMS
Journal of Structural Chemistry. 2022. V.63. N7. P.1070-1078. DOI: 10.1134/s0022476622070058 WOS Scopus OpenAlex

Крисюк В.В. , Крючкова Н.А. , Комаров В.Ю. , Пищур Д.П.
Взаимосвязь строения и термических свойств в летучих гетерометаллических комплексах, используемых при химическом осаждении из газовой фазы пленок Cu—Pt и Cu—Pd
Журнал структурной химии. 2022. Т.63. №7. 95767 :1-9. DOI: 10.26902/jsc_id95767 OpenAlex

Web of science:	WOS:000832695800005
Scopus:	2-s2.0-85135187962
OpenAlex:	W4288462126

Пока нет цитирований