Термодинамическое моделирование процесса осаждения никельсодержащих пленок из газовой фазы

Термодинамическое моделирование процесса осаждения никельсодержащих пленок из газовой фазы Full article

Journal

Журнал физической химии
ISSN: 0044-4537

Output data

Year: 2024, Volume: 98, Number: 9, Pages: 135–139 Pages count : 5 DOI: 10.31857/S0044453724090182

Authors

Shestakov Vladimir Alekseevich ¹ , Kosinova Marina Leonidovna ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Шестаков В.А. , Косинова М.Л.
Термодинамическое моделирование процесса осаждения никельсодержащих пленок из газовой фазы
Журнал физической химии. 2024. Т.98. №9. С.135–139. DOI: 10.31857/S0044453724090182 РИНЦ

Shestakov V.A. , Kosinova M.L.
Thermodynamic Modeling of the Deposition of Nickel-Containing Films from the Gas Phase
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2024. V.98. N9. P.2007-2011. DOI: 10.1134/S0036024424701140 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Published print:

Dec 30, 2024

Elibrary:

80300081

Пока нет цитирований