Breaking through the Thermodynamics “Wilds” of Metal–Organic Chemical Vapor Deposition Precursors: Metal tris-Acetylacetonates

Breaking through the Thermodynamics “Wilds” of Metal–Organic Chemical Vapor Deposition Precursors: Metal tris-Acetylacetonates Научная публикация

Журнал

Coatings
ISSN: 2079-6412

Вых. Данные

Год: 2023, Том: 13, Номер: 8, Номер статьи : 1458, Страниц : 17 DOI: 10.3390/coatings13081458

Авторы

Makarenko Alexander M. ¹ , Trubin Sergey V. ¹ , Zherikova Kseniya V. ¹

Организации

1	Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, 630090 Novosibirsk, Russia

Информация о финансировании (2)

1	Министерство науки и высшего образования Российской Федерации	121031700314-5
2	Российский научный фонд	22-23-20182

Makarenko A.M. , Trubin S.V. , Zherikova K.V.
Breaking through the Thermodynamics “Wilds” of Metal–Organic Chemical Vapor Deposition Precursors: Metal tris-Acetylacetonates
Coatings. 2023. V.13. N8. 1458 :1-17. DOI: 10.3390/coatings13081458 WOS Scopus OpenAlex

Поступила в редакцию:	29 июн. 2023 г.
Опубликована в печати:	18 авг. 2023 г.

Web of science:	WOS:001055688000001
Scopus:	2-s2.0-85169083039
OpenAlex:	W4386028595

БД	Цитирований
OpenAlex	2
Scopus	2