Синтез диоксида ванадия из смеси ацетилацетоната ванадила и кислорода: моделирование и эксперимент

Синтез диоксида ванадия из смеси ацетилацетоната ванадила и кислорода: моделирование и эксперимент Full article

Journal

Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X

Output data

Year: 2022, Volume: 67, Number: 12, Pages: 1746-1752 Pages count : 7 DOI: 10.31857/S0044457X22600608

Tags

термодинамическое моделирование, CVD-процесс, тонкие пленки, диоксид ванадия

Authors

Шестаков В.А. ^1,2 , Яковкина Л.В. ¹ , Кичай В.Н. ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2	Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет

Проведено термодинамическое моделирование и экспериментальное исследование процесса син- теза диоксида ванадия из ацетилацетоната ванадила VO(acac)2 и кислорода в атмосфере аргона. При термодинамическом моделировании использовали метод расчета химических равновесий, осно- ванный на минимизации энергии Гиббса системы. В экспериментальной части работы для синтеза пленок применяли методику химического осаждения из газовой фазы. Результаты термодинамиче- ского моделирования и полученные экспериментальные данные могут быть полезны при разработ- ке методов получения пленок, пригодных для применения в твердотельных устройствах.

Шестаков В.А. , Яковкина Л.В. , Кичай В.Н.
Синтез диоксида ванадия из смеси ацетилацетоната ванадила и кислорода: моделирование и эксперимент
Журнал неорганической химии. 2022. Т.67. №12. С.1746-1752. DOI: 10.31857/S0044457X22600608 РИНЦ OpenAlex

Shestakov V.A. , Yakovkina L.V. , Kichay V.N.
Synthesis of Vanadium Dioxide from a Mixture of Vanadyl Acetylacetonate and Oxygen: Simulation and Experiment
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2022. V.67. N12. P.1956-1961. DOI: 10.1134/s0036023622601179 WOS Scopus OpenAlex

Submitted:	Apr 20, 2022
Accepted:	Jun 27, 2022

Elibrary:	49515221
OpenAlex:	W4387146909

DB	Citing
Elibrary	3
OpenAlex	2