Синтез диоксида ванадия из смеси ацетилацетоната ванадила и кислорода: моделирование и эксперимент Full article
| Journal |
Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X |
||||
|---|---|---|---|---|---|
| Output data | Year: 2022, Volume: 67, Number: 12, Pages: 1746-1752 Pages count : 7 DOI: 10.31857/S0044457X22600608 | ||||
| Tags | термодинамическое моделирование, CVD-процесс, тонкие пленки, диоксид ванадия | ||||
| Authors |
|
||||
| Affiliations |
|
Abstract:
Проведено термодинамическое моделирование и экспериментальное исследование процесса син- теза диоксида ванадия из ацетилацетоната ванадила VO(acac)2 и кислорода в атмосфере аргона. При термодинамическом моделировании использовали метод расчета химических равновесий, осно- ванный на минимизации энергии Гиббса системы. В экспериментальной части работы для синтеза пленок применяли методику химического осаждения из газовой фазы. Результаты термодинамиче- ского моделирования и полученные экспериментальные данные могут быть полезны при разработ- ке методов получения пленок, пригодных для применения в твердотельных устройствах.
Cite:
Шестаков В.А.
, Яковкина Л.В.
, Кичай В.Н.
Синтез диоксида ванадия из смеси ацетилацетоната ванадила и кислорода: моделирование и эксперимент
Журнал неорганической химии. 2022. Т.67. №12. С.1746-1752. DOI: 10.31857/S0044457X22600608 РИНЦ OpenAlex
Синтез диоксида ванадия из смеси ацетилацетоната ванадила и кислорода: моделирование и эксперимент
Журнал неорганической химии. 2022. Т.67. №12. С.1746-1752. DOI: 10.31857/S0044457X22600608 РИНЦ OpenAlex
Dates:
| Submitted: | Apr 20, 2022 |
| Accepted: | Jun 27, 2022 |
Identifiers:
| Elibrary: | 49515221 |
| OpenAlex: | W4387146909 |