Thermodynamic Study of (Hexafluoroacetylacetonato)(cyclooctadiene-1,5)copper As the Technological Basis for the Development of Chemical Vapor Deposition of Metal-Containing Film Heterostructures Full article
Journal |
Russian Journal of Physical Chemistry A
ISSN: 0036-0244 , E-ISSN: 1531-863X |
||
---|---|---|---|
Output data | Year: 2024, Volume: 98, Number: 1, Pages: 57-62 Pages count : 6 DOI: 10.1134/s0036024424010321 | ||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Cite:
Zherikova K.V.
, Trubin S.V.
, Pishchur D.P.
, Morozova N.B.
Thermodynamic Study of (Hexafluoroacetylacetonato)(cyclooctadiene-1,5)copper As the Technological Basis for the Development of Chemical Vapor Deposition of Metal-Containing Film Heterostructures
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2024. V.98. N1. P.57-62. DOI: 10.1134/s0036024424010321 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Thermodynamic Study of (Hexafluoroacetylacetonato)(cyclooctadiene-1,5)copper As the Technological Basis for the Development of Chemical Vapor Deposition of Metal-Containing Film Heterostructures
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2024. V.98. N1. P.57-62. DOI: 10.1134/s0036024424010321 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Original:
Жерикова К.В.
, Трубин С.В.
, Пищур Д.П.
, Морозова Н.Б.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЛЕКСА МЕДИ(Г) КАК ОСНОВА ТЕХНОЛОГИИ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Журнал физической химии. 2024. Т.98. №1. С.59-64. DOI: 10.31857/S0044453724010097 РИНЦ OpenAlex
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЛЕКСА МЕДИ(Г) КАК ОСНОВА ТЕХНОЛОГИИ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Журнал физической химии. 2024. Т.98. №1. С.59-64. DOI: 10.31857/S0044453724010097 РИНЦ OpenAlex
Dates:
Submitted: | Jun 29, 2023 |
Published print: | May 20, 2024 |
Identifiers:
Web of science: | WOS:001237115500060 |
Scopus: | 2-s2.0-85193682088 |
Elibrary: | 67624174 |
OpenAlex: | W4398145649 |