ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЛЕКСА МЕДИ(Г) КАК ОСНОВА ТЕХНОЛОГИИ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ

ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЛЕКСА МЕДИ(Г) КАК ОСНОВА ТЕХНОЛОГИИ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ Full article

Journal

Журнал физической химии
ISSN: 0044-4537

Output data

Year: 2024, Volume: 98, Number: 1, Pages: 59-64 Pages count : 6 DOI: 10.31857/S0044453724010097

Authors

Zherikova Kseniya Vasilʹevna ¹ , Trubin Sergei Vladimirovich ¹ , Pishchur Denis Petrovich ¹ , Morozova Natalʹya Borisovna ¹

Affiliations

1	Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН

Жерикова К.В. , Трубин С.В. , Пищур Д.П. , Морозова Н.Б.
ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ КОМПЛЕКСА МЕДИ(Г) КАК ОСНОВА ТЕХНОЛОГИИ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Журнал физической химии. 2024. Т.98. №1. С.59-64. DOI: 10.31857/S0044453724010097 РИНЦ OpenAlex

Zherikova K.V. , Trubin S.V. , Pishchur D.P. , Morozova N.B.
Thermodynamic Study of (Hexafluoroacetylacetonato)(cyclooctadiene-1,5)copper As the Technological Basis for the Development of Chemical Vapor Deposition of Metal-Containing Film Heterostructures
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2024. V.98. N1. P.57-62. DOI: 10.1134/s0036024424010321 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Published print:

Jan 1, 2024

Elibrary:	67960485
OpenAlex:	W4400816266

Пока нет цитирований