Abstract: Методом химического осаждения из газовой фазы с активацией плазмой высокочастотного разряда (PECVD) получены пленки состава SiCxNyHz. В качестве исходного вещества использовано кремнийорганическое соединение гексаметилдисилазан, содержащее все необходимые для формирования пленок атомы. Изучены некоторые физико-химические свойства пленок методами спектроскопии поверхностных акустических волн, измерения изгиба системы пленка–подложка, эллипсометрии, ИК-спектроскопии, установлены важные особенности в строении пленок. Показано, что при температурах осаждения ниже 400°C пленки содержат химические связи органического характера, обладают весьма малыми значениями модуля Юнга, плотности, высокой эластичностью, что указывает на их полимероподобное строение. Установлено, что при более высоких температурах осаждения пленки представляют собой неорганический композитный материал.

Cite: Шаяпов В.Р. , Румянцев Ю.М. , Файнер Н.И. , Аюпов Б.М.
Оптические и механические свойства пленок, полученных плазмохимическим разложением гексаметилдисилазана
Журнал физической химии. 2012. Т.86. №11. С.1841-1846.

Translated: Shayapov V.R. , Rumyantsev Y.M. , Fainer N.I. , Ayupov B.M.
Optical and Mechanical Properties of Films Obtained by Plasma Decomposition of Hexamethyldisilazane
Russian Journal of Physical Chemistry A. 2012. V.86. N11. P.1716-1720. DOI: 10.1134/S0036024412110258 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Dates:

Submitted:

Jan 24, 2012

Identifiers: No identifiers

Citing: Пока нет цитирований