Особенности определения толщины диэлектрических пленок, полученных в поисковых экспериментах

Особенности определения толщины диэлектрических пленок, полученных в поисковых экспериментах Full article

Journal

ПОВЕРХНОСТЬ. Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960

Output data

Year: 2010, Number: 5, Pages: 100-105 Pages count : 6

Authors

Аюпов Б.М. ¹ , Румянцев Ю.М. ¹ , Шаяпов В.Р. ¹

Affiliations

1	Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии имени А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия

В работе рассмотрен подход к определению толщины и показателей преломления диэлектрических пленок, получаемых в поисковых экспериментах. Такие эксперименты часто характеризуются непредсказуемостью значений толщины и показателей преломления пленок. Используются неразрушающие неконтактные методы спектрофотометрии и эллипсометрии, не требующие предварительной подготовки образца. Подход к определению толщины и показателей преломления пленок иллюстрируется на образцах пленок карбонитрида кремния, получаемых на кремниевых подложках плазмохимическим разложением триметил(фениламино)силана в газовой фазе.

Аюпов Б.М. , Румянцев Ю.М. , Шаяпов В.Р.
Особенности определения толщины диэлектрических пленок, полученных в поисковых экспериментах
ПОВЕРХНОСТЬ. Рентгеновские синхротронные и нейтронные исследования. 2010. №5. С.100-105.

Ayupov B.M. , Rumyantsev Y.M. , Shayapov V.R.
Features of Determination of Thickness of Dielectric Films Obtained in Searching Experiments
Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques. 2010. V.4. N3. P.452-457. DOI: 10.1134/S1027451010030158 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Submitted:

May 25, 2009

No identifiers

Пока нет цитирований