Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Precursors: Diagnostic Check for Volatilization Thermodynamics of Scandium(III) β-Diketonates Научная публикация

Журнал	Coatings ISSN: 2079-6412
Вых. Данные	Год: 2023, Том: 13, Номер: 3, Номер статьи : 535, Страниц : 20 DOI: 10.3390/coatings13030535
Авторы	Makarenko Alexander M. 1 , Zaitsau Dzmitry H. 2,3 , Zherikova Kseniya V. 1
Организации	1 Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, 630090 Novosibirsk, Russia 2 Institute of Technical Thermodynamics, University of Rostock, 18059 Rostock, Germany 3 Competence Centre CALOR of Faculty of Interdisciplinary Research, University of Rostock, 18059 Rostock, Germany

Информация о финансировании (2)

1	Министерство науки и высшего образования Российской Федерации	121031700314-5
2	Российский научный фонд	22-23-20182