Abstract: Проведено термодинамическое моделирование и экспериментальное исследование процесса синтеза пленок оксидов ванадия при разных температурах из прекурсора тетракис-этилметиламинованадий V[NC3H8]4 в присутствии кислорода и атмосфере аргона. При термодинамическом моделировании использовали метод расчета химических равновесий, основанный на минимизации энергии Гиббса системы. В экспериментальной части работы для синтеза пленок применяли методику атомно-слоевого осаждения. Результаты термодинамического моделирования и экспериментальные данные соответствуют друг другу и могут быть использованы для разработки методик синтеза пленочных покрытий на основе оксидов ванадия.

Cite: Шестаков В.А. , Селезнев В.А. , Мутилин С.В. , Кичай В.Н. , Яковкина Л.В.
Термодинамическое моделирование процесса синтеза пленок оксидов ванадия и его экспериментальная реализация
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №5. С.651-657. DOI: 10.31857/S0044457X23600019 РИНЦ OpenAlex

Translated: Shestakov V.A. , Seleznev V.A. , Mutilin S.V. , Kichay V.N. , Yakovkina L.V.
Thermodynamic Modeling and Experimental Implementation of the Synthesis of Vanadium Oxide Films
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. N5. P.580-586. DOI: 10.1134/s0036023623600491 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex

Dates:

Submitted:	Dec 1, 2022
Accepted:	Feb 3, 2023

Identifiers:

Elibrary:	52259629
OpenAlex:	W4394830794

Citing: Пока нет цитирований

Altmetrics: