Sciact
  • EN
  • RU

Термодинамическое моделирование процесса синтеза пленок оксидов ванадия и его экспериментальная реализация Научная публикация

Журнал Журнал неорганической химии
ISSN: 0044-457X
Вых. Данные Год: 2023, Том: 68, Номер: 5, Страницы: 651-657 Страниц : 7 DOI: 10.31857/S0044457X23600019
Ключевые слова термодинамическое моделирование, атомно-слоевое осаждение, тонкие пленки, диоксид ванадия, пентаоксид ванадия
Авторы Шестаков В.А. 1,2 , Селезнев В.А. 3 , Мутилин С.В. 3 , Кичай В.Н. 1 , Яковкина Л.В. 1
Организации
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
2 Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет
3 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН

Реферат: Проведено термодинамическое моделирование и экспериментальное исследование процесса синтеза пленок оксидов ванадия при разных температурах из прекурсора тетракис-этилметиламинованадий V[NC3H8]4 в присутствии кислорода и атмосфере аргона. При термодинамическом моделировании использовали метод расчета химических равновесий, основанный на минимизации энергии Гиббса системы. В экспериментальной части работы для синтеза пленок применяли методику атомно-слоевого осаждения. Результаты термодинамического моделирования и экспериментальные данные соответствуют друг другу и могут быть использованы для разработки методик синтеза пленочных покрытий на основе оксидов ванадия.
Библиографическая ссылка: Шестаков В.А. , Селезнев В.А. , Мутилин С.В. , Кичай В.Н. , Яковкина Л.В.
Термодинамическое моделирование процесса синтеза пленок оксидов ванадия и его экспериментальная реализация
Журнал неорганической химии. 2023. Т.68. №5. С.651-657. DOI: 10.31857/S0044457X23600019 РИНЦ OpenAlex
Переводная: Shestakov V.A. , Seleznev V.A. , Mutilin S.V. , Kichay V.N. , Yakovkina L.V.
Thermodynamic Modeling and Experimental Implementation of the Synthesis of Vanadium Oxide Films
Russian Journal of Inorganic Chemistry. 2023. V.68. N5. P.580-586. DOI: 10.1134/s0036023623600491 WOS Scopus РИНЦ OpenAlex
Даты:
Поступила в редакцию: 1 дек. 2022 г.
Принята к публикации: 3 февр. 2023 г.
Идентификаторы БД:
РИНЦ: 52259629
OpenAlex: W4394830794
Цитирование в БД: Пока нет цитирований
Альметрики: